平面互补场效应晶体管替代金属栅工艺流程从平面 CMOS 45nm/ 32nm 节点开始,Intel 公司率先成功使用替代金属栅(Replacement – Metal – Gate, RMG) 工艺(又称后栅工艺),实现了高K氧化铪栅介质 ( 减小栅泄漏电流) 和金属栅(较低栅电阻),如图所示。
该工艺是指在形成层间介质层(ILD)后,插入工序以形成高k介质和金属栅叠层,即在化学机械抛光(露出多晶硅栅叠层)后,刻蚀掉硬掩模(氮化硅/氧化硅),利用干法或湿法刻蚀清除多晶硅;然后形成高k介质(IL-ox/氧化铪),接下来进行退火 一 沉积 TiN 覆盖层 一 退火 一 沉积非晶硅覆盖层 一 尖峰退火 一 湿法清除非晶硅 一 沉积 TaN(刻蚀阻挡层)和p型功函数层(p-WF, TiN) 一 掩模(开nFET) 一 刻蚀 P-WF (TiN) 一 光刻胶去除 一 沉积n型功函数层(TiAI) 一 栅金属层填充(CVD 或溅射钛,铝或钨)。其他工序与文章-1的相同。
审核编辑 :李倩
友恒律师事务所-霍尔果斯站
友恒律师事务所-侯马站
友恒律师事务所-贺州站
友恒律师事务所-廉江站
友恒律师事务所-塔城站
友恒律师事务所-图们站
友恒律师事务所-子长站
友恒律师事务所-海林站
友恒律师事务所-三亚站
友恒律师事务所-临沧站
友恒律师事务所-东港站
友恒律师事务所-百色站
友恒律师事务所-德阳站
友恒律师事务所-高安站
友恒律师事务所-常宁站
友恒律师事务所-甘孜站
友恒律师事务所-黄山站
友恒律师事务所-吉首站
友恒律师事务所-上饶站
友恒律师事务所-永州站
友恒律师事务所-阿图什站
友恒律师事务所-安宁站
友恒律师事务所-渭南站
友恒律师事务所-通辽站
友恒律师事务所-中山站
友恒律师事务所-庆阳站
友恒律师事务所-娄底站
友恒律师事务所-那曲站
友恒律师事务所-吐鲁番站
友恒律师事务所-资阳站
友恒律师事务所-长沙站
友恒律师事务所-贵阳站
友恒律师事务所-满洲里站
友恒律师事务所-宿迁站
友恒律师事务所-儋州站
友恒律师事务所-枝江站
友恒律师事务所-张家港站
友恒律师事务所-钟祥站
友恒律师事务所-枣庄站
友恒律师事务所-射洪站
友恒律师事务所-根河站
友恒律师事务所-遵义站
友恒律师事务所-阿克苏站
友恒律师事务所-涿州站
友恒律师事务所-呼和浩特站
友恒律师事务所-广州站
友恒律师事务所-佛山站
友恒律师事务所-武夷山站
友恒律师事务所-防城港站
友恒律师事务所-珲春站
友恒律师事务所-珠海站
友恒律师事务所-荆州站
友恒律师事务所-太原站
友恒律师事务所-都江堰站
友恒律师事务所-鹤山站
友恒律师事务所-宁国站
友恒律师事务所-辛集站
友恒律师事务所-乌海站
友恒律师事务所-霸州站
友恒律师事务所-瑞昌站
友恒律师事务所-海宁站
友恒律师事务所-聊城站
友恒律师事务所-温岭站
友恒律师事务所-柳州站
友恒律师事务所-肥城站
友恒律师事务所-莱阳站
友恒律师事务所-池州站
友恒律师事务所-邹平站
友恒律师事务所-江门站
友恒律师事务所-开封站
友恒律师事务所-来宾站
友恒律师事务所-乐平站
友恒律师事务所-江油站
友恒律师事务所-安庆站
友恒律师事务所-巴中站
友恒律师事务所-梧州站
友恒律师事务所-晋中站
友恒律师事务所-浏阳站
友恒律师事务所-平果站
友恒律师事务所-陇南站
友恒律师事务所-泊头站
友恒律师事务所-佳木斯站
友恒律师事务所-邵武站
友恒律师事务所-伊宁站
友恒律师事务所-灯塔站
友恒律师事务所-鄂尔多斯站
友恒律师事务所-海北站
友恒律师事务所-延吉站
友恒律师事务所-江山站
友恒律师事务所-启东站
友恒律师事务所-重庆站
友恒律师事务所-广汉站
友恒律师事务所-北安站
友恒律师事务所-乐陵站
友恒律师事务所-高邮站
友恒律师事务所-宜昌站
友恒律师事务所-克孜勒苏站
友恒律师事务所-烟台站
友恒律师事务所-博乐站
友恒律师事务所-庐山站
免责声明:文章内容来自互联网,本站不对其真实性负责,也不承担任何法律责任,如有侵权等情况,请与本站联系删除。
转载请注明出处:平面互补场效应晶体管替代金属栅工艺流程-平面互差 https://www.yhzz.com.cn/a/4895.html